高純鎢粉
高純鎢粉是指純度至少在99.99%以上的鎢粉，其化學純度可以從99.99%~99.999%，它的各種雜質元素含量應在(0.1～1000)×10-12之間，對于某些雜質元素的含量，如放射性元素、堿金屬元素、重金屬元素和氣體元素等還分別有特殊的要求。其制品有高純鎢條、鎢棒、鎢電極、鎢絲，高純鎢片、鎢板，純鎢及鎢鈦濺鍍靶材等。
高純鎢粉的制備
高純鎢的制備方法可分為粉末冶金法、熔煉法和化學氣相沉積法。
1. 粉末冶金法是指鎢粉經過成形后，加熱到其熔點下的某個溫度，通過物質遷移完成致密化的過程，最終可得到鎢坯或某些形狀簡單的鎢制品。
2. 熔煉法是指將鎢原料加熱到其熔點以上形成液相，去除雜質后再冷卻凝固實現致密化的過程，根據所采用的手段不同，具體方法有真空自耗電弧熔煉法、電子束熔煉法和等離子束熔煉法等。
3. 化學氣相沉積是指以鎢化合物氣體（一般為WF6）為鎢源，在一定溫度下被H2還原，將生成的鎢沉積在特定的基底上，沉積完成后去除基底材料獲得致密鎢坯（或者制品）的過程。
高純鎢粉的用途
高純鎢粉可應用于制作對材料性能或使用壽命等要求較高的特殊耐高溫器件，也可用于精密合金鑄造領域的純鎢元素添加；另外，高純鎢粉及其硅化物可用于超大規模集成電路作為電阻層、擴散阻擋層等以及在金屬氧化物半導體型晶體管中作為門材料及連接材料等。超純鎢（5N或6N）由于具有對電子遷移的高電阻、高溫穩定性以及能形成穩定的硅化物，在電子工業中往往以濺鍍薄膜形式用作柵極、連接和障礙金屬。超高純鎢及其復合材料鎢硅或鎢鈦常被制成高純度的濺鍍靶材，以薄膜形式覆蓋于基板或其它薄膜層，用于超大規模集成電路作為電阻層、擴散阻擋層等以及在金屬氧化物半導體型晶體管中作門材料及連接材料等。
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