Fiziksel Buhar Birikimi (Püskürtme)
KVH durumunda artan s?cakl?k ile birle?tirilmi? gü?lükler PVD ile ortadan kald?r?labilir (püskürtme). Bu i?lemdeki substrat olduk?a so?uk kal?r.
Yüksek bir vakum hücresinde enerji ile bir iyon demeti (tercihen asal gaz) olu?turulur, substrat üzerinde biriken tungsten par?ac?klar?n? serbest b?rak?r.
Püskürtme ekipman?n?n geli?tirilmi? tasar?m?, bir miktar CVD tungsteninin yer de?i?tirmesini sa?lar. Mikroelektronik üretiminde ince tabakalar i?in kullan?lan püskürtme u?lar?, yüksek veya ultra yüksek safl?kta W,% 10 Ti ve WSix'den yap?lm??t?r.
Herhangi bir ilginiz varsa Tungsten tozu, Lütfen E-posta ile bizimle ileti?ime ge?mekten ?ekinmeyin: sales@chinatungsten.com Veya telefonla:+86 592 5129696
Daha fazla bilgi>>