Kimyasal buhar birikimi
Tungsten tabakalar?n?n buhar faz?ndan ??keltilmesi i?in kolayl?kla buharla?abilen bir tungsten bile?i?i, bir ta??y?c? gaz ve / veya indirgeyici gaz ile kar??t?r?l?r ve uygun bir s?cakl?kta daha yüksek s?cakl?kta ayr??t?rabilir veya indirgenir. Olas? tungsten bile?ikleri halojenürlerdir (tercihen WF6 ve WCl6), tungsten heksakarbonil [W (CO) 6] ve organometaliktir. ?imdiye kadar, sadece halojenürler teknik olarak ?nemlidir. Halojenürlerin dezavantajlar?n?n üstesinden gelmek i?in organometalik y?nünde kapsaml? ara?t?rmalar yap?lm??t?r: indirgeme i?in gerekli olan yüksek s?cakl?k ve korozyondan kaynaklanan gü?lükler.
CVD (kimyasal buharla biriktirme) vas?tas?yla üretilen tabaka, tane boyutu ve tane y?nü a??s?ndan d?vülmü? P / M ürünleriyle kar??la?t?r?ld???nda olduk?a farkl? bir mikroyap? sergilemektedir. Her iki parametre, biriktirme ko?ullar?ndan etkilenebilir. ?ok ince taneli CVD (kimyasal buhar birikimi) tungsten, ?rne?in ?ekirdeklenme h?z?n? artt?ran ve kolumnar tane büyümesini bozan f?r?alama yoluyla büyütme ko?ullar?n? depozisyon s?ras?nda de?i?tirerek elde edilebilir. Bu y?ntem ayn? zamanda istenen kristal y?nlendirme katmanlar?n? veya hatta tek kristal katmanlar? biriktirme imkan? sunar.
Tungsten ve tungsten-renyumun CVD (kimyasal buhar birikimi) (WF6 ve ReF6'nun birlikte ??keltilmesi), X-???n? hedeflerinin üretimi i?in ticari a??dan ?nemlidir. 1 mm'ye kadar W-Re katmanlar? ?aplar? 100 ila 150 mm aras?nda olan grafit disklere yerle?tirilir. Ayr?ca, CVD, silindirik veya konik kabuklar, koniler (?ekillendirilmi? ?arj astarlar? gibi), potalar ve ince duvarl? tüpler üretmek i?in kullan?labilir.
Tungsten dü?ük bas?n?l? CVD, via plug, dü?ük diren?li kontak bariyerleri ve yüksek yo?unluklu silikon entegre devreler i?in ara ba?lant?lar i?in test edilmi?tir. Yüzeye ve biriktirme ko?ullar?na ba?l? olarak, α-veya β-tungsten veya her ikisinin bir kar???m? olu?ur. Bu ilgi ?ekicidir, ?ünkü β-W'nin direnci α-W'nin direnci yakla??k 10 kat daha fazlad?r.
Herhangi bir ilginiz varsa Tungsten tozu, Lütfen E-posta ile bizimle ileti?ime ge?mekten ?ekinmeyin: sales@chinatungsten.com Veya telefonla:+86 592 5129696
Daha fazla bilgi>>