Deposi??o de vapor químico
Para a deposi??o de camadas de tungsténio a partir da fase de vapor, mistura-se um composto de tungsténio facilmente evaporável com um gás transportador e / ou gás redutor e decomp?e-se ou reduz-se a uma temperatura mais elevada de um modo adequado. Os compostos de tungsténio possíveis s?o os halogenetos (preferencialmente WF6 e WCl6), tungsténio hexacarbonilo [W (CO) 6] e organometálicos. Até agora, apenas os halogenetos s?o tecnicamente importantes. Foram realizadas extensas investiga??es na direc??o dos organometálicos para superar as desvantagens dos halogenetos: a alta temperatura necessária para a redu??o e as dificuldades causadas pela corros?o. ??????????
As folhas, produzidas por meio de CVD (deposi??o química a vapor), exibem uma microestrutura bem diferente em compara??o com os produtos P / M trabalhados em termos de tamanho de gr?o e orienta??o de gr?os. Ambos os parametros podem ser influenciados pelas condi??es de deposi??o. O tungsténio CVD de granula??o fina (deposi??o química a vapor) pode ser obtido alterando as condi??es de crescimento durante a deposi??o, por exemplo, por escovagem, o que aumenta a taxa de nuclea??o e perturba o crescimento do gr?o colunar. O método também oferece a possibilidade de depositar camadas de orienta??o cristalina desejada ou mesmo de camadas de cristal único. ??????????
A deposi??o química de vapor de tungstênio e tungstênio-renênio (co-deposi??o de WF6 e ReF6) é de importancia comercial para a produ??o de alvos de raios-X. As camadas W-Re de até 1mm s?o depositadas em discos de grafite com diametros entre 100 e 150 mm. Além disso, a CVD pode ser utilizada para produzir conchas cilíndricas ou cónicas, cones (tais como forros de carga moldados), cadinhos e tubos de paredes finas. ??????????
CVD de baixa press?o de tungstênio é testado para vias de contato, barreiras de contato de baixa resistência e interliga??es para circuitos integrados de silício de alta densidade. Dependendo do substrato e das condi??es de deposi??o, forma-se ou a-ou p-tungsténio, ou uma mistura de ambos. Isto é de interesse, porque a resistividade de p-W é cerca de 10 vezes maior do que a de a-W.
Se você tem algum interesse em Pó de tungstênio, N?o hesite em contactar-nos por e-mail: sales@chinatungsten.comOu por telefone:+86 592 5129696
Mais informa??es>>