鎢漿

什麼是鎢漿？

鎢漿料由鎢粉、無(wú)機(jī)粘結(jié)相和有機(jī)載體三部分構(gòu)成，其中鎢粉是其中的功能相，提供良好的導(dǎo)熱導(dǎo)電性能，熱膨脹係數(shù)很小，易通過(guò)調(diào)節(jié)與氧化鋁陶瓷基體匹配，防止金屬化過(guò)程中產(chǎn)生應(yīng)力，為良好的封接提供了前提。

無(wú)機(jī)粘結(jié)相的首要作用是幫助燒結(jié)，使得在較低燒結(jié)溫度下得到良好的鎢導(dǎo)電膜，這是中溫活性法金屬化的基本原理；無(wú)機(jī)粘結(jié)相的另一個(gè)重要作用是提供封接強(qiáng)度，由於鎢漿料需要在還原氣氛下燒結(jié)，直接在氧化鋁陶瓷上沉積的鎢層沒(méi)有附著力，而粘結(jié)相可以和瓷體鍵合，提供良好的封接強(qiáng)度。

有機(jī)載體分為樹(shù)脂、溶劑、添加劑三部分，樹(shù)脂採(cǎi)用乙基纖維素，溶劑採(cǎi)用松油醇，根據(jù)需要加入表面活性劑、流平劑、消泡劑等有機(jī)添加劑。

鎢漿的製備

1）有機(jī)載體的製備
稱(chēng)取溶劑後，將盛溶劑的容器放入恒溫水浴箱中（水溫80℃），稱(chēng)取樹(shù)脂和添加劑，一邊緩慢加入容器中，一邊用高速攪拌機(jī)進(jìn)行攪拌，轉(zhuǎn)速控制在（300-800）r/min，待樹(shù)脂完全溶解後，繼續(xù)保溫1h，進(jìn)行過(guò)濾並密封備用。

2）鎢漿料的配製
將有機(jī)載體和鎢金屬化配方按w（固含量）為70%~85%的比例配料後攪拌均勻，然後用三輥軋機(jī)進(jìn)行軋製，用刮板細(xì)度計(jì)測(cè)試細(xì)度，合格後收漿，過(guò)濾之後得到初成品，對(duì)初成品進(jìn)行固含量和粘度測(cè)試，若不合格進(jìn)行適當(dāng)調(diào)節(jié)，得到最終漿料成品。

3）後續(xù)工藝
用絲網(wǎng)印刷設(shè)備對(duì)品質(zhì)分?jǐn)?shù)為96%氧化鋁基片進(jìn)行印刷，烘乾後厚度為10~15um，在1300℃還原氣氛下燒結(jié)。為保護(hù)金屬化層，增強(qiáng)可焊性，最後在金屬化鎢層上電鍍鎳層，厚度控制在3~5um。

鎢漿的用途

導(dǎo)體漿料是厚膜混合積體電路中用途最廣、用量最大的一種導(dǎo)電漿料，其作用是固定分離的有源器件和無(wú)源器件，作為元件之間的互連線和厚膜電容上下電極及外引線的焊區(qū)。導(dǎo)體漿料的導(dǎo)電相一般為Ag, Pd, Au, Pt等貴金屬，由於此類(lèi)金屬熔點(diǎn)較低，燒成溫度一般在800~1000℃左右，不適合高溫共燒技術(shù)。而鎢熔點(diǎn)極高，達(dá)到了3410℃，同時(shí)還具有良好的導(dǎo)電、導(dǎo)熱性能，不僅適合於常用的氧化鋁基板，與未來(lái)有著良好應(yīng)用前景的氮化鋁基板也能很好的匹配。因此，鎢漿在高溫共燒技術(shù)領(lǐng)域得到了廣泛的關(guān)注。

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