Odk?adanie si? oparów chemicznych
W celu osadzania warstw wolframu z fazy gazowej, ?atwo odparowywany zwi?zek wolframu miesza si? z gazem no?nym i / lub redukuje gaz, rozk?ada si? lub redukuje w wy?szej temperaturze na odpowiednim. Mo?liwymi zwi?zkami wolframu s? halogenki (korzystnie WF6 i WCl6), wolframowy heksakarbonyl [W (CO) 6] i zwi?zki metaloorganiczne. Do tej pory tylko halogenki s? technicznie wa?ne. Podj?to intensywne badania w kierunku metaloorganicznych elementów w celu przezwyci??enia wad halogenków: wysokiej temperatury niezb?dnej do redukcji i trudno?ci spowodowanych korozj?.
Arkusze produkowane przez CVD (chemiczne osadzanie oparów) wykazuj? zupe?nie inn? mikrostruktur? w porównaniu z produktami P / M z kutego ziarna w zale?no?ci od wielko?ci ziarna i orientacji ziarna. Oba parametry mog? mie? wp?yw na warunki osadzania. Bardzo dobrze ziarnowane CVD (chemiczne osadzanie oparów) wolframu mo?na uzyska? zmieniaj?c warunki wzrostu podczas osadzania, na przyk?ad przez szczotkowanie, co zwi?ksza szybko?? zarodkowania i zak?óca wzrost ziarna kolumny. Metoda oferuje równie? mo?liwo?? umieszczania warstw po??danej orientacji krystalicznej lub nawet warstw pojedynczych kryszta?ów.
CVD (chemiczne osadzanie oparów) wolframu i wolframu (wspó?p?aszczanie WF6 i ReF6) ma znaczenie handlowe dla celów rentgenowskich. Warstwy W-Re o d?ugo?ci do 1 mm s? osadzane na dyskach grafitowych o ?rednicy od 100 do 150 mm. Co wi?cej, CVD mo?e by? u?yty do produkcji cylindrycznych lub sto?kowych muszli, sto?ków (takich jak ukszta?towane wk?adki ?adunkowe), tygli i cienko?ciennych rur.
Niskoci?nieniowe CVD wolframu jest badane pod k?tem wtyków, barier kontaktowych o niskiej odporno?ci oraz po??czeń wzajemnych dla uk?adów scalonych silikonowych o du?ej g?sto?ci. W zale?no?ci od pod?o?a i warunków osadzania α-lub β-wolframu, albo mieszaniny obu form. Jest to interesuj?ce, poniewa? oporno?? β-W jest oko?o 10 razy wi?ksza ni? w przypadku α-W.
Je?li masz jakie? zainteresowanie proszkiem wolframu, skontaktuj si? z nami poczt? elektroniczn?: sales@chinatungsten.comLub telefonicznie: +86 592 5129696
Wi?cej informacji>>
sales@chinatungsten.com;